MEMS，全称微电机系统（Micro-Electro-Mechanical Systems），堪称科技界的“袖珍英雄”，将微型化、精密度和高性能完美融合，是推动现代移动和互联世界的关键驱动力。别看它小巧如芝麻，却坚固如磐石，用低功耗为电池减负，用高精度为研发增色。从智能手机到汽车，再到可穿戴设备和物联网（IoT）装置，MEMS传感器无处不在，为各行业注入高效能和创新力，为我们的智能化生活增添无限可能。
01、博世，MEMS技术的领跑者
博世作为全球最大的MEMS传感器供应商之一，为汽车行业和消费电子行业提供了大量创新解决方案。目前，每辆车中平均安装有20个MEMS传感器，其中三分之一来自博世；预计到2035年，每辆新车中将平均集成超过40颗博世芯片；每两部新智能手机就有一部应用了博世MEMS传感器。对于消费电子行业，博世在整个MEMS市场（不仅限于MEMS传感器）中位居第一。
02、MEMS技术的应用与优势
MEMS传感器由硅材料制成，包含微小的机械结构，尺寸通常只有几微米，甚至比蚂蚁腿还要细。它们可以检测多种物理现象，如运动、压力、湿度、流量、噪声、气体和磁场等。凭借其低功耗、高灵敏度和高精度的特点，MEMS传感器适用于各种节能应用，尤其是在电池供电的消费电子产品中，如智能手机、健身追踪器、可穿戴设备及物联网设备。
博世的MEMS传感器技术能够在最小的空间内实现高精度的测量，这使得它们能够集成到体积小、功耗低的设备中，从而满足现代消费电子产品对小型化和高性能的需求。
03、博世MEMS的关键技术与创新
博世通过自主研发的“博世工艺”（深反应离子刻蚀DRIE）引领了MEMS制造工艺的发展。1992年，博世工程师Andrea Urban和Franz Lärmer申请了一项专利，提出通过刻蚀和钝化步骤形成垂直结构，得以在硅晶圆中制造出精密的微机械结构。1994年，博世进一步完善了“沟槽工艺”，为MEMS传感器的发展奠定了基础。
这些创新技术的实现使得博世的MEMS传感器不仅能够满足日常消费电子产品的需求，还能应对汽车行业对精度、可靠性和耐久性等极高标准的要求。尤其在汽车领域，博世的MEMS传感器已应用于气囊、车辆动态系统、驾驶辅助系统、自动驾驶等关键技术中。
04、博世MEMS传感器的多种应用
博世的MEMS传感器产品系列涵盖了广泛的应用场景，面向车辆制造商（OEM）、车辆系统和控制单元（Tier-1）、车辆组件（EMS）以及消费品制造商：
汽车应用
博世提供的MEMS传感器被广泛应用于气囊系统、车辆动态系统、驾驶辅助系统、自动驾驶系统、内燃机和驱动系统的压力传感器、自适应底盘控制和座椅舒适传感器等领域。这些传感器需要承受极端环境，如潮湿、振动、化学物质和温差等，博世的MEMS传感器能够满足汽车行业对高精度和高可靠性的要求，且符合汽车安全完整性等级ASIL D的安全标准。
汽车应消费电子应用
博世还为消费电子产品提供多种MEMS传感器，如运动检测、手势识别和导航传感器。这些传感器广泛应用于智能手机、可穿戴设备、健身追踪器等消费电子产品中。
特殊应用
博世的MEMS传感器还适用于许多特殊应用，如气体浓度测量和磁场（指南针）传感器等。这些传感器不仅用于消费品，也在工业和医疗等领域发挥着重要作用。
05、博世的生产能力与发展历程
自1995年起，博世在罗伊特林根的MEMS生产基地开始使用6英寸或8英寸晶圆进行MEMS传感器的开发和大规模生产；2021年，博世在德累斯顿的晶圆厂落成，重点制造12英寸晶圆MEMS芯片。
博世的生产过程包括前端制造、后端制造及销售服务，确保了从研发到生产的全方位控制和技术创新。至今，博世已经生产超过200亿个MEMS传感器，成为全球MEMS传感器技术的先驱。
博世凭借其在MEMS技术领域的深厚积淀和创新能力，已经成为全球MEMS传感器领域的领导者。无论是在汽车行业的高安全性需求，还是在消费电子领域的小型化与高效能需求，博世MEMS传感器都展现出无与伦比的优势。随着MEMS技术的不断进步，博世将继续推动这一领域的创新，致力于为智能化、互联化的未来提供更精确、更高效的解决方案。
来源：博世汽车电子事业部
